세메스, KrF 스피너 테스트 통과…日 독점에 도전
반도체 장비업체 세메스 가 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너 장비 ‘오메가 프라임’을 개발하고 품질 테스트를 통과했다고 7일 밝혔다. 반도체 공정 중 미세회로를 형성하는 핵심 장비
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노광공정
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