반도체 장비업체 세메스 가 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너 장비 ‘오메가 프라임’을 개발하고 품질 테스트를 통과했다고 7일 밝혔다.
반도체 공정 중 미세회로를 형성하는 핵심 장비인 스피너는 일본 장비업체가 세계 시장 점유율 90% 이상을 차지하고 있는 분야로, 세메스 는 이 시장에 도전장을 내민 국내 유일 기업이다.
스피너는 반도체 제조 포토공정에서 웨이퍼 위에 감광액을 균일하게 도포하고, 이후 노광과 현상 과정을 거쳐 미세회로를 구현하는 데 사용된다.
세메스는 이번 신제품 개발로 수입 의존도가 높은 KrF(불화크립톤) 기반 스피너 기술을 확보하며 기술 자립에 한걸음 다가섰다.
이번에 개발된 오메가 프라임은 기존 장비 대비 시간당 웨이퍼 처리량을 20% 이상 높여 생산성을 크게 개선한 것이 특징이다.
특히 WLPAD(Word Line Pad) 공정에 대응할 수 있는 구조로 설계돼 활용 가능 공정 범위가 넓어졌다.
세메스는 자동 보정 및 공정 자동화 기능을 도입해 공정 산포를 줄이고 수율 안정성도 높였다고 설명했다.
KrF 스피너는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 이른바 '3고' 장비로, 정밀한 감광액 도포와 안정된 공정 품질 확보가 필수다.
세메스는 기존 ArF-i(불화아르곤 이머전) 장비 개발 경험을 바탕으로 이번 제품에서도 국산 기술력의 강점을 최대한 반영했다고 밝혔다.
장세연 포토팀장은 “오메가 프라임의 개발로 향후 수입 대체 효과가 클 것으로 기대한다”며 “고부가가치 중심의 설비를 선보여 기술 리더십을 주도할 것”이라고 말했다.
한편, 세메스는 반도체 핵심공정 중 하나인 포토공정 장비 분야에서 IR52 장영실상 3회 수상, 포토장비 관련 국내외 특허 1000여 건을 보유하고 있으며, 국내 장비업계 최초로 연 매출 3조 원을 돌파한 바 있다.
배동현 ([email protected]) 기사제보
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